KEYSIGHT是德（原安捷倫Agilent） B298高阻表使用操作說明書

Single鍵-單次測量或啟動觸發(fā)系統(tǒng)。

Run/Stop鍵-啟動/停止測量。

USB-A連接器-用于連接到 USB 內(nèi)存設(shè)備。

LCD顯示屏下面六個功能鍵SPEED、RANGE、Zoom、 Clear、Apps、System Menu等。或視圖模式（Meter數(shù)據(jù)、 Graph圖表格、Histogram直方圖 或 Roll滾動圖）。

Cancel/Local鍵-如果儀器處于本地狀態(tài)，則取消設(shè)置操作。如果儀器處于遠程控制狀態(tài)，則使它返回為本地狀態(tài)。

旋鈕-如果字段指針處于 MOVE（藍色）狀態(tài)，旋轉(zhuǎn)旋鈕可移動指針。按下旋鈕 可修復(fù)指針位置，將指針狀態(tài)更改為 EDIT（綠色）。

如果字段指針處于 EDIT（綠色）狀態(tài)，則旋轉(zhuǎn)旋鈕將改變指針設(shè)置參數(shù) 的值。按下旋鈕可修復(fù)值，并將指針狀態(tài)更改為 MOVE（藍色）。

•測量導(dǎo)航鍵-用于更改 SPEED速度 和 RANGE量程范圍?？墒褂靡韵骆I。

Coarse Res低分辨率。提高測量速度（減少孔徑時間）。

Range +提高測量量程。

[home]設(shè)置 AUTO 量程以及 Normal 自 動孔徑。

Range -降低測量量程。

Fine Res高分辨率。降低測量速度（增加孔徑時間）。

Null鍵-啟用或禁用 Null（偏移取消）功能。

Filter鍵-啟用濾波器功能。

如果 FILT 指示器已打開，按 Filter 鍵將禁用該功能、關(guān)閉 FILT 指示器。

Measure Filter 對話框

Median Filter(Current) 中值濾波器， 請為 Rank 字段設(shè)置 1 到 15 的整數(shù)。

Moving Average移動平均濾波器，請在 Count 字段中設(shè)置樣本數(shù)量（ 1 到 100 的整數(shù)）

樣本數(shù) (N) 定義為 N = 2*R+1，其中 R 是等級值?？稍?Measure Filter 對話框的 Rank 字段中設(shè)置該值。該值必須是 1 到 5 的整數(shù)。

•Math鍵-啟用數(shù)學(xué)函數(shù)。

•Save和Recall鍵-用于保存/恢復(fù)儀器的所有設(shè)置信息。

Ammeter On/Off 開關(guān)-啟用或禁用安培計。

電壓表沒有開關(guān)，始終有效。

•Voltage Source On/Off 開關(guān)-啟用或禁用電壓源。

如果電壓源處于超過 ± 21 V 的高壓狀態(tài)，開關(guān)將變?yōu)榧t色。

Output Connection對話框

Low Terminal State，Voltage Source Low端子連接、CCOM（電路公共端）或FLOAT（浮動）

Output-Off State 輸出關(guān)閉狀態(tài)， HIGH Z（高阻抗）、NORMAL（正常）或 ZERO（零伏）

Resistive Limit State 電壓源輸出電阻器 (20 MW) 連接， ON （串聯(lián)）或 OFF （無連接）

Input Connection對話框

Analog Signal Output 模擬輸出功能的測量模式，IM（電流）、 VM（電壓）或 QM（電荷）

Voltage Measure Inner Shield 電壓表輸入連接器的內(nèi)部屏蔽層連接， CCOM（電路公共端）或 GUARD（保護端子）

電流表Input連接器-用于電流測量的三同軸連接器。可以通過 On/Off 開關(guān)打開或關(guān)閉電流表。

•Analog Out 端子-用于模擬輸出的香蕉端子。

•Common 端子-電路公共端的香蕉端子。這是電流表、電壓表以及模擬輸出的 Common 端子。

為了進行接地測量，必須通過使用香蕉插頭至接線片電纜（隨附）將此端子連接到地線（接地線）。

Earth (ground)端子-通過電源線連接到接地的端子。該端子也連接到儀器的機架（機箱）。

•Trigger In 和 Trigger Out連接器-兩個 BNC 連接器，一個用于觸發(fā)輸入，一個用于觸發(fā)輸出。它們用于執(zhí)行與外部設(shè)備同步的操作。

•Digital I/O 連接器-D-sub 9針母接頭，適用于通用 I/O (GPIO)?？梢杂米魈幚砥骰蝾愃蒲b置的接口。

LAN interface連接器-連接到 10/100 Base-T 接口。左側(cè) LED 表示活動。右側(cè) LED 表示鏈接完整性。

•USB-B 連接器-連接到 USB 接口。

•GPIB interface連接器-使用 Keysight 82357A/B USB/GPIB 接口或 Keysight 10833A/B/C/D/F/G GPIB 電纜連接到外部計算機或設(shè)備。

•AC input連接器-交流電源線連接到此插座。

•Serial Number儀器的序列號。 Serial Number標(biāo)簽貼在儀器的底部。

•電壓源 High 和 Low 端子，針對高達 ± 1000 V 的直流電壓輸出的香蕉型端子。可以通過 On/Off 開關(guān)打開或關(guān)閉電壓源。

使用通過按 System Menu > Config > Source > Connection 功能鍵打開的 Output Connection 對話框中的 Low Terminal State 字段，可以設(shè)置低端子狀 態(tài)、電路公共端或浮動。

•Voltmeter input連接器，電壓測量的三同軸連接器。

使用通過按 System Menu > Config > Measure > Connection 功能鍵打開的 Input Connection 對話框中的 Voltage Measure Inner Shield 字段，可以設(shè)置 電壓表內(nèi)屏蔽狀態(tài)、保護端或電路公共端。

•Interlock連接器-用于互鎖功能的連接器。如果Interlock端子打開，儀器輸出限制為 ± 21 V。

儀器附帶了一個連接器頭（Phoenix Contact 1881341（4 針）或同等型號）， 用于連接聯(lián)鎖電路。警告當(dāng) Interlock 端子關(guān)閉時，電壓源 High 端子上可能存在高達 ± 1000 V 的危險 電壓。

•Humidity sensor連接器-用于相對濕度測量的濕度傳感器的連接器。儀器附帶了一個連接器頭（Phoenix Contact 1551354（5 針）或同等型號）， 用于連接濕度傳感器 E+E Elektronik EE07 或同等型號。儀器沒有附帶濕度 傳感器和連接電纜。

•Thermocouple連接器-用于溫度測量的 K 型熱電偶的連接器。儀器附帶了一個 Keysight N1423A 熱電偶。

為實現(xiàn)電流表浮動，請勿在 Common 端子和機箱接地線之間連接任何電纜。

您可以按如下所示執(zhí)行電流測量。

步驟 1. 按 View 和 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

對于 B298/B2987A，還可以按 AMPS (I) 輔助鍵來設(shè)置電流測量模式。

步驟 2. 使用導(dǎo)航鍵或 RANGE 功能鍵設(shè)置要使用的測量量程。

有關(guān)詳細信息，請參閱“測量安培數(shù)”（第 3-9 頁）。

步驟 3. 使用導(dǎo)航鍵或 SPEED 功能鍵設(shè)置所需的測量速度（孔徑時

間）。有關(guān)詳細信息，請參閱“孔徑時間”（第 3-9 頁）。

步驟 4. 按 Filter 鍵打開 Measure Filter 對話框。然后在該對話

框中設(shè)置測量過濾器。有關(guān)詳細信息，請參閱“濾波

器”（第 3-9 頁）。

步驟 5. 使用內(nèi)部零位校正功能執(zhí)行弱電流精密測量。此功能可以補償儀器當(dāng)前測量

量程的內(nèi)部偏移電流。

1. 打開 Measurement 端子。

如果 ZC （零位校正）指示器已打開，按 Null 鍵可禁用零位校正功能。

2. 按 Null 鍵禁用零位校正功能。這將測量儀器內(nèi)部的偏移電流并打開 ZC 指

示器 （灰色）。

有關(guān)詳細信息，請參閱“零位校正”（第 3-13 頁）。

步驟 6. 按 Ammeter On/Off 開關(guān)以啟用電流表。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。

步驟 7. 使用 null（偏移取消）功能獲取低電平電流測量的*精度。可以zui大限度降

低輸入偏置電流和電壓負荷。

1. 進行Measurement 端子連接，以獲取偏移值。在許多情況下，這是將被測設(shè)

備 (DUT) 從測量路徑移除的開放條件。

如果 NULL 指示器已打開，按 Null 鍵可禁用 null 功能。

2. 按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。然后確認該值遠小于 DUT 測量

（目標(biāo)）值。

如果該值為含噪值，請調(diào)整測量速度（孔徑時間）和測量濾波器的設(shè)置。

3.按 Run/Stop 鍵停止測量。

4.按 Null 鍵啟用 null 功能。這將測量偏移值并打開 NULL 指示器。

有關(guān)詳細信息，請參閱“Null”（第 3-12 頁）。

步驟 8.連接測量電流 (DUT)。

有關(guān)接地測量，請參閱圖 3-2。

有關(guān)浮動測量，請參閱圖 3-3。

步驟 9.按照下列步驟開始測量。

•按 Single 鍵可開始單次（一次）測量。將執(zhí)行一次電流測量。

•按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。將重復(fù)執(zhí)行電流測量。zui小測量 時間間隔為 10 ms。

測量之后，顯示的測量值為實際測量值減去偏移值的結(jié)果。

如果測量過程中測量量程沒有發(fā)生變化，則會執(zhí)行零位校正并打開 ZC 指示器 （白色）。如果量程發(fā)生變化，則不會執(zhí)行零位校正并會打開 ZC 指示器（灰色）。

步驟 10.按 Ammeter On/Off 開關(guān)以禁用電流表。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

注意設(shè)置完整性檢查程序

可以通過按 Apps 功能鍵和 #1 輔助鍵輕松檢查測量路徑（如電纜布線和連接） 的噪聲電平。

有關(guān)詳細信息以及此功能的用法，請參閱第 4 章。

注意數(shù)據(jù)記錄程序

可以通過按 Apps 功能鍵和 #2 輔助鍵輕松執(zhí)行采樣策略等測量操作。

有關(guān)詳細信息以及此功能的用法，請參閱第 4 章。

可以使用香蕉插頭至鱷魚夾電纜將 Common 端子連接到被測電壓的Low端 子，而不是連接電壓表的內(nèi)部屏蔽層 (Common)。

注意為實現(xiàn)電壓表浮動，請勿在 Common 端子和機箱接地線之間連接任何電纜。

電壓表連接器的內(nèi)部屏蔽層在內(nèi)部連接到 Guard 或 Common 端子，如圖 3-6 所示。必須正確進行內(nèi)部連接。要進行保護電壓測量，必須將內(nèi)部屏蔽層連接到 Guard 端子。要進行無保護電壓測量，必須將其連接到 Common 端子。不 正確的設(shè)置將導(dǎo)致測量錯誤。

可以按照下列步驟執(zhí)行電壓測量。

步驟 1.按 View 和 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

步驟 2.按 VOLTS (V) 輔助鍵設(shè)置電壓測量模式。

步驟 3. 使用導(dǎo)航鍵或 RANGE 功能鍵設(shè)置要使用的測量量程。有關(guān)詳細信息，請參閱

“測量伏特數(shù)”（第 3-20 頁）。

步驟 4. 使用導(dǎo)航鍵或 SPEED 功能鍵設(shè)置所需的測量速度（孔徑時間）。有關(guān)詳細信

息，請參閱“孔徑時間”（第 3-20 頁）。

步驟 5. 按 Filter 鍵打開 Measure Filter 對話框。然后在該對話框中設(shè)置測量過濾器。有

關(guān)詳細信息，請參閱“濾波器”（第 3-20 頁）。

步驟 6. 使用 null（偏移取消）功能獲取低電平電壓測量的*精度。可以zui大限度降

低輸入偏置電流和電壓負荷。

1. 進行測量端子連接，以獲取偏移值。在許多情況下，這是將被測設(shè)備

(DUT) 從測量路徑移除的開放條件。

如果 NULL 指示器已打開，按 Null 鍵可禁用 null 功能。

2. 按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。然后確認該值遠小于 DUT 測量

（目標(biāo)）值。

如果該值為含噪值，請調(diào)整測量速度（孔徑時間）和測量濾波器的設(shè)置。

3. 按 Run/Stop 鍵停止測量。

4. 按 Null 鍵啟用 null 功能。這將測量偏移值并打開 NULL 指示器。

有關(guān)詳細信息，請參閱“Null”（第 3-20 頁）。

步驟 7. 連接測量電壓 (DUT)。

有關(guān)保護電壓測量，請參閱圖 3-7。

有關(guān)無保護電壓測量，請參閱圖 3-8。

步驟 8. 按照下列步驟開始測量。

• 按 Single 鍵可開始單次（一次）測量。將執(zhí)行一次電壓測量。

• 按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。將重復(fù)執(zhí)行電壓測量。zui小測量

時間間隔為 10 ms。

測量之后，顯示的測量值為實際測量值減去偏移值的結(jié)果。

Zoom ON啟用放大屏幕顯示時(放大Meter視圖時，無法看到以下菜單)：

Show Hist.顯示直方圖，按一下切換成Hide Hist.顯示量程設(shè)置子面板

Show Roll顯示滾動圖，按一下切換成Hide Roll 顯示量程設(shè)置子面板

Show Trigge顯示觸發(fā)設(shè)置子面板，按一下切換成Hide Trigger顯示量程設(shè)置子面板

More... (B298/B2987A) 將輔助鍵更改為輔助鍵 3。

Source在Voltage Source字段中顯示字段指針，轉(zhuǎn)動旋鈕更改輸出電壓值。

Show Preview (B298/B2987A) 在顯示屏上半部分顯示電壓源輸出的預(yù)覽圖形，而非測量值的預(yù)覽圖形，按一下切換成Hide Preview (B298/B2987A) 取消預(yù)覽圖形，顯示測量值。

Show VS Func. (B298/B2987A) 顯示源功能子面板，按一下切換成Hide VS Func. (B298/B2987A) 顯示量程設(shè)置子面板。

可使用以下設(shè)置參數(shù)。

Measure Amps 設(shè)置電流測量量程。

Measure Coulomb (B298/B2987A) 設(shè)置電荷測量量程。

Measure Volts (B298/B2987A) 設(shè)置電壓測量量程。

Measure Ohms (B298/B2987A) 設(shè)置電阻測量量程。

Spot Source Range (B298/B2987A) 選擇電壓源的輸出量程。

Triggered VoltageSource (B298/B2987A) 設(shè)置因接收觸發(fā)信號而強制觸發(fā)的電壓源的輸出電壓電平。

Voltage Source Low 端子在內(nèi)部連接到電路公共端或從電路公共端斷開連接，如

圖 3-12 和 3-14 所示。有關(guān)詳細信息，請參閱“Low 端子狀態(tài)”（第 3-29 頁）。

要使用 N1413A/N1414A 適配器，請將 Low Terminal State 設(shè)置為 FLOATING。

Voltage Source Low 端子通過適配器連接到機箱接地線。

注意 如果使用 N1413A/N1414A 適配器，則無需考慮電壓表連接器內(nèi)部屏蔽層的設(shè)

置。它已在適配器的輸入處打開。

注意 要施加超過 ± 21V 的電壓，必須將 Interlock 端子連接到聯(lián)鎖電路。請參閱

“聯(lián)鎖”（第 3-31 頁）。

電阻計算模式

電阻測量值通過公式 R=Vs/Im 或 R=Vm/Im 來計算。其中， Vm 是測量電壓，

Im 是測量電流， Vs 是輸出電壓?？梢酝ㄟ^按功能鍵 System Menu > Config >

Measure > Ohms > V Select Source 或 V Select Measure 模式。

Source 該模式在此軟鍵標(biāo)簽顯示“ V Select Source”時有效。電阻值通過公式 R=Vs/Im

來計算。

Measure 該模式在此軟鍵標(biāo)簽顯示 “ V Select Measure”時有效。電阻值通過公式

R=Vm/Im 來計算。要使用該模式，請將 N1413A 或 N1414A 適配器連接到靜

電計輸入 / 輸出端子。然后設(shè)置電壓測量量程 （測量伏特數(shù)）。

V Control 模式

V Control 模式（ Auto 或 Manual）表明了電阻測量設(shè)置參數(shù)?？梢酝ㄟ^按功能

鍵 System Menu > Config > Measure > Ohms > V Control Auto 或 V Control

Manual 模式。

Auto 該模式在此軟鍵標(biāo)簽顯示 “ V Control Auto”時有效。 設(shè)置電阻量程 （測量歐

姆數(shù)）。將自動設(shè)置用于測量的測量量程和輸出電壓，如表 3-3 所示。請參閱

“測量歐姆數(shù)”（第 3-30 頁）。

Manual 該模式在此軟鍵標(biāo)簽顯示 “ V Control Manual”時有效。設(shè)置用于測量的電流

測量量程 （測量安培數(shù)） 、電壓輸出量程 （點源量程）和輸出電壓 （電壓

源）。這些設(shè)置字段位于通過按 Hide XXX 輔助鍵所顯示的 Meter 視圖和量程設(shè)

置子面板中。要設(shè)置輸出電壓，請按 Source 輔助鍵并使用旋鈕和 / 或輔助鍵將

值設(shè)置到 Voltage Source 字段中。要查看這些輔助鍵，您可能需要按 More... 1 of 3

輔助鍵和 / 或 More... 2 of 3 輔助鍵。

Low 端子狀態(tài)

電壓源 Low 端子在內(nèi)部連接到電路公共端或從電路公共端斷開連接。為了進

行此內(nèi)部連接，請通過按 System Menu > Config > Source > Connection 功能鍵

打開 Output Connection 對話框，然后正確設(shè)置 Low Terminal State 字段。

提供以下值。

CCOM Low 端子在內(nèi)部連接到電路公共端。浮動指示器關(guān)閉。

FLOATING Low 端子在內(nèi)部從電路公共端斷開連接。浮動指

示器打開。

此設(shè)置可用于更改接地點。

要設(shè)置值，請使用輔助鍵和 / 或旋鈕，然后按 OK 應(yīng)用設(shè)置并關(guān)閉對話框。

有關(guān)詳細信息，請參閱 “浮動低端子”（第 3-33 頁）。

小心 請勿對 Low 端子施加電壓。此外，請勿為了向 Low 端子施加電壓而設(shè)置

FLOATING。這樣做可能會損壞儀器。

注意 為了產(chǎn)生浮動條件，請勿在 Common 端子和機箱接地線之間連接任何電纜。

有關(guān)詳細信息，請參閱“浮動公共端”（第 3-14 頁）。電流表公共端可用作其

保護端。

注意 使用 Keysight N1413A 或 N1414A 適配器之后， Low Terminal State 設(shè)置將被忽

略。 Voltage Source Low 端子通過適配器連接到機箱接地線。

測量歐姆數(shù)

按 RANGE xxx 功能鍵可更改量程模式 （自動或固定）。其中， xxx 顯示當(dāng)前

測量量程設(shè)置： AUTO 或固定量程值

按 SPEED zzz 功能鍵可更改孔徑模式 （自動或手動）。其中， zzz 顯示當(dāng)前孔

徑時間設(shè)置。

可以使用以下導(dǎo)航鍵設(shè)置孔徑時間。

Coarse Res 提高測量速度 （減少孔徑時間）。

[home] 設(shè)置 Normal 自動孔徑和 AUTO 量程。

Fine Res 降低測量速度 （增加孔徑時間）。

有關(guān)詳細信息，請參閱 “孔徑時間”（第 3-11 頁） 。

濾波器

可以使用 Filter 鍵啟用 / 禁用測量濾波器功能。

如果 FILT 指示器已關(guān)閉，按 Filter 鍵可打開 Measure Filter 對話框。設(shè)置對話

框后按 OK 鍵，可啟用濾波器功能并打開 FILT 指示器。

如果 FILT 指示器已打開，按 Filter 鍵將禁用該功能并關(guān)閉 FILT 指示器。

有關(guān)詳細信息，請參閱 “濾波器”（第 3-13 頁）。

聯(lián)鎖

聯(lián)鎖功能旨在防止用戶在接觸測量端子時發(fā)生電擊。如果后面板的 Interlock

端子已打開，則電壓源不能 施加超過 ± 21 V 的高電壓。

要去除高電壓輸出的這一限制，必須將 Interlock 端子連接到測試夾具或連接接

口中安裝的聯(lián)鎖電路。如果未安裝聯(lián)鎖電路，則必須安裝該電路。有關(guān)聯(lián)鎖電

路以及如何安裝聯(lián)鎖電路的詳細信息，請參閱“安裝聯(lián)鎖電路”（第 2-12 頁） 。

如果聯(lián)鎖電路在電壓源施加超過 ± 21 V 的電壓的過程中打開，則會立即將輸

出電壓設(shè)置為 0 V 并打開輸出繼電器。

可以按照下列步驟執(zhí)行電阻測量。

步驟 1. 設(shè)置電阻計算模式：Vs/Im 或 Vm/Im。請參閱“電阻計算模式”（第 3-28 頁）。

步驟 2. 按 View 鍵并選擇 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

步驟 3. 按 OHMS (R) 輔助鍵設(shè)置電阻測量模式。

步驟 4. 設(shè)置電流測量量程和輸出電壓。請參閱“V Control 模式”（第 3-28 頁）。

如果使用 Auto V Control 模式，請設(shè)置電阻量程。使用 RANGE 功能鍵和導(dǎo)航

鍵設(shè)置所需的量程。有關(guān)詳細信息，請參閱“測量歐姆數(shù)”（第 3-30 頁）。

步驟 5. 使用 SPEED 功能鍵和導(dǎo)航鍵設(shè)置所需的測量速度（孔徑時間）。有關(guān)詳細信

息，請參閱“孔徑時間”（第 3-31 頁）。

步驟 6. 按 Filter 鍵打開 Measure Filter 對話框。然后在該對話框中設(shè)置測量過濾器。有

關(guān)詳細信息，請參閱“濾波器”（第 3-31 頁）。

步驟 7. 使用內(nèi)部零位校正功能執(zhí)行精密測量。此功能可以補償儀器當(dāng)前測量量程的

內(nèi)部偏移電流。

1. 打開測量端子。

如果 ZC （零位校正）指示器已打開，按 Null 鍵可禁用零位校正功能。

2. 按 Null 鍵禁用零位校正功能。這將測量儀器內(nèi)部的偏移電流并打開 ZC 指

示器 （灰色）。

步驟 8.按 Ammeter On/Off 開關(guān)以啟用電流表。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。

步驟 9.使用 null（偏移取消）功能獲取電阻測量的*精度。可以zui大限度降低輸入 偏置電流和電壓負荷。

1.進行測量端子連接，以獲取偏移值。在許多情況下，這是將被測設(shè)備(DUT) 從測量路徑移除的開放條件。

如果 NULL 指示器已打開，按 Null 鍵可禁用 null 功能。

2.按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。然后確認該值遠小于 DUT 測量 （目標(biāo)）值。

如果該值為含噪值，請調(diào)整測量速度（孔徑時間）和測量濾波器的設(shè)置。

3.按 Run/Stop 鍵停止測量。

4.按 Null 鍵啟用 null 功能。這將測量偏移值并打開 NULL 指示器。

有關(guān)詳細信息，請參閱“Null”（第 3-12 頁）。

步驟 10.連接要測量的電阻器 (DUT)。有關(guān)連接，請參閱圖 3-11 到 3-15。

步驟 11.按電壓源 On/Off 開關(guān)啟用電壓輸出。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。電壓源將開始輸出。

步驟 12.按照下列步驟開始測量。

•按 Single 鍵可開始單次（一次）測量。將執(zhí)行一次電阻測量。

•按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。將重復(fù)執(zhí)行電阻測量。zui小測量 時間間隔為 10 ms。

測量之后，顯示的測量值為實際測量值減去偏移值的結(jié)果。

如果測量過程中測量量程沒有發(fā)生變化，則會執(zhí)行零位校正并打開 ZC 指示器 （白色）。如果量程發(fā)生變化，則不會執(zhí)行零位校正并會打開 ZC 指示器（灰色）。

步驟 13.按電壓源 On/Off 開關(guān)禁用電壓輸出。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

步驟 14.按 Ammeter On/Off 開關(guān)以禁用電流表。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

過程 1

可以按照下列步驟施加直流電壓。

步驟 1.按 View 鍵并選擇 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

步驟 2.使用 Spot Source Range 字段設(shè)置所需的輸出范圍。有關(guān)詳細信息，請參閱“直 流電壓輸出量程”（第 3-34 頁）。

步驟 3.按 Source 輔助鍵將字段指針移動到 Voltage Source 字段。

步驟 4.將輸出電壓值設(shè)置到 Voltage Source 字段。然后使用旋鈕和/或輔助鍵。

步驟 5.按電壓源 On/Off 開關(guān)啟用輸出。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。電壓源將開始輸出。

步驟 6.按電壓源 On/Off 開關(guān)禁用輸出。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

過程 2

可以按照下列步驟施加掃描電壓。

步驟 1.按 View 鍵并選擇 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

步驟 2.在開始掃描輸出之前，執(zhí)行“過程 1” 以設(shè)置輸出電壓。

步驟 3.設(shè)置電壓掃描輸出。

有關(guān)階梯掃描輸出，請參閱“階梯掃描輸出設(shè)置”（第 3-34 頁）。

有關(guān)列表掃描輸出，請參閱“列表掃描輸出設(shè)置”（第 3-35 頁）。

步驟 4.按電壓源 On/Off 開關(guān)啟用輸出。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。電壓源將開始 Voltage Source 字段的輸出。

步驟 5.按 Single 鍵。將執(zhí)行的掃描輸出。

步驟 6.按電壓源 On/Off 開關(guān)禁用輸出。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

過程 3

可以按照下列步驟施加方波電壓。

步驟 1.按 View 鍵并選擇 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

步驟 2.在開始方波輸出之前，執(zhí)行“過程 1” 以設(shè)置輸出電壓。

步驟 3.設(shè)置方波參數(shù)。請參閱“方波輸出設(shè)置”（第 3-36 頁）。

步驟 4.按電壓源 On/Off 開關(guān)啟用輸出。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。電壓源將開始 Voltage Source 字段的輸出。

步驟 5.按 Single 鍵。將執(zhí)行的方波輸出。

步驟 6.按電壓源 On/Off 開關(guān)禁用輸出。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

可以按照下列步驟執(zhí)行電荷測量。另請參閱“關(guān)于電荷測量”（第 3-42 頁）。

步驟 1. 設(shè)置自動放電功能。請參閱“自動放電”（第 3-41 頁）。

步驟 2. 按 View 鍵并選擇 Meter View 功能鍵以顯示 Meter 視圖。

步驟 3. 按 COUL.(Q) 輔助鍵設(shè)置電荷測量模式。

步驟 4. 使用 RANGE 功能鍵和導(dǎo)航鍵設(shè)置要使用的測量量程。有關(guān)詳細信息，請參閱

“測量庫倫數(shù)”（第 3-41 頁）。

步驟 5. 使用 SPEED 功能鍵和導(dǎo)航鍵設(shè)置所需的測量速度（孔徑時間）。有關(guān)詳細信

息，請參閱“孔徑時間”（第 3-41 頁）。

步驟 6. 按 Filter 鍵打開 Measure Filter 對話框。然后在該對話框中設(shè)置測量過濾器。有

關(guān)詳細信息，請參閱“濾波器”（第 3-42 頁）。

步驟 7. 使用內(nèi)部零位校正功能執(zhí)行低電荷精密測量。此功能可以補償儀器當(dāng)前測量

量程的內(nèi)部偏移電流。

1. 打開測量端子。

如果 ZC （零位校正）指示器已打開，按 Null 鍵可禁用零位校正功能。

2. 按 Null 鍵禁用零位校正功能。這將測量儀器內(nèi)部的偏移電流并打開 ZC 指

示器 （灰色）。

步驟 8.按 Ammeter On/Off 開關(guān)以啟用電流表。這將使開關(guān)變?yōu)榫G色。

步驟 9.使用 null（偏移取消）功能獲取低電平電荷測量的*精度?？梢詚ui大限度降 低輸入偏置電流和電壓負荷。

1.進行測量端子連接，以獲取偏移值。在許多情況下，這是將被測設(shè)備(DUT) 從測量路徑移除的開放條件。

如果 NULL 指示器已打開，按 Null 鍵可禁用 null 功能。

2.按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。然后確認該值遠小于 DUT 測量 （目標(biāo)）值。

如果該值為含噪值，請調(diào)整測量速度（孔徑時間）和測量濾波器的設(shè)置。

3.按 Run/Stop 鍵停止測量。

4.按 Null 鍵啟用 null 功能。這將測量偏移值并打開 NULL 指示器。

有關(guān)詳細信息，請參閱“Null”（第 3-12 頁）。

步驟 10.將測量電荷 (DUT) 連接到電流表Input連接器。有關(guān)連接，請參閱圖 3-17。

步驟 11.按照下列步驟開始測量。

•按 Single 鍵可開始單次（一次）測量。將執(zhí)行一次電荷測量。

•按 Run/Stop 鍵可開始重復(fù)（連續(xù)）測量。將重復(fù)執(zhí)行電荷測量。zui小測量 時間間隔為 10 ms。

測量之后，顯示的測量值為實際測量值減去偏移值的結(jié)果。

如果測量過程中測量量程沒有發(fā)生變化，則會執(zhí)行零位校正并打開 ZC 指示器（白 色）。如果量程發(fā)生變化，則不會執(zhí)行零位校正并會打開 ZC 指示器（灰色）。

步驟 12.按 Ammeter On/Off 開關(guān)以禁用電流表。這將關(guān)閉開關(guān)指示燈。

自動放電

自動放電功能可以防止電流表量程超限。如果啟用了此功能，當(dāng)電荷達到水平時，電流表會將電荷重置為零。重置之后，將從零開始重新測量電荷。

可以通過按 System Menu > Config > Measure > Coulomb > Auto Dis. 功能鍵啟 用/禁用此功能。此顯示當(dāng)前設(shè)置 ON（啟用）或 OFF（禁用）。

可以通過按 System Menu > Config > Measure > Coulomb > Dis. Level 功能鍵從 2 nC、20 nC、200 nC 或 2 μC中選擇放電量。此軟鍵標(biāo)簽顯示當(dāng)前設(shè)置。

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